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曝光机
发布时间:2024-09-04 14:33:04 作者:汉语成语
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来, 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。
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