等离子体光谱仪具有自动等离子激发和待机运行模式等特点，可节省能耗和氩气耗量。适应样品种类的连续变换，可确保对多种样品甚至快速更换样品时始终具有稳定、有效的等离子体能量。
当高频发生器接通电源后，高频电流I通过感应线圈产生交变磁场(绿色)。开始时，管内为Ar气，不导电，需要用高压电火花触发，使气体电离后，在高频交流电场的作用下，带电粒子高速运动，碰撞，形成“雪崩”式放电，产生等离子体气流。在垂直于磁场方向将产生感应电流（涡电流，粉色），其电阻很小，电流很大(数百安)，产生高温。又将气体加热、电离，在管口形成稳定的等离子体焰炬。
等离子体光谱仪的研究领域是生命科学。
等离子体光谱仪的主要用途：用于环保、地质、化工、生物、医药、食品、冶金、农业等方面样品的定性、定量分析。
(1)测定每个元素可同时选用多条谱线；
(2)可在一分钟内完成70个元素的定量测定；
(3)可在一分钟内完成对未知样品中多达70多元素的定性；
(4)1mL的样品可检测所有可分析元素；
(5)扣除基体光谱干扰；
(6)全自动操作；
(7)分析精度：CV0.5%。