微流量传感器是由高强度材料构成。该传感器可以和软管或硬管连接，并采用标准的硬件安装。只有一个可动部件，低压降，使整个传感器运行成本和维护要求降低。对于低流量液体监测的OEM应用十分理想的。
1.口径：1mm
2.精度：1.5级
3.多种输出方式
4.直接测量气体质量流量
5.流量范围：0.01~2slpm
6.精度高、压损小、响应时间快
7.适用领域：采样、分析仪器，色谱仪，洁净气体监控、泄露侦测、hvac控制等
1.无漂移，无滞后
2.可精确测量极小流量
3.经过完全校准和温度补偿
4.低功耗（使用脉冲激发电流）
5.一代MEMS传感器芯片技术
6.精度高，响应速度快，重复性好
7.线性或开方特性输出；模拟或数字输出
1.便携式仪器
2.空气和环境保护
3.工业过程控制：燃烧器控制
4.医用设备：呼吸仪、肺活量仪、麻醉控制仪、氧气控制等
5.暖通空调：变风量系统（VAV）、过滤器监控、风扇通风控制等